華卓精科為何被譽(yù)為“光刻機(jī)第一股”?

日前，這家被市場稱作“光刻機(jī)第一股”的廠商，正式向上交所提交招股書并獲受理。雖然不生產(chǎn)光刻機(jī)整機(jī)，但其實(shí)控人、清華大學(xué)教授朱煜透露，該公司生產(chǎn)的光刻機(jī)核心子系統(tǒng)——雙工件臺打破了ASML技術(shù)壟斷，成為世界上第二家掌握雙工件臺核心技術(shù)的公司。

不過，目前華卓精科的光刻機(jī)雙工件臺僅有上海微電子一家客戶，并且該產(chǎn)品仍處于小批量定制生產(chǎn)階段，尚未實(shí)現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)。同時(shí)，其晶圓級鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等產(chǎn)品還與上海微電子存在競爭。

2017年-2019年，華卓精科營收和凈利呈逐年增長態(tài)勢，但其同期收到的政府補(bǔ)助要遠(yuǎn)大于其營收規(guī)模，其中2019年收到的政府補(bǔ)助是其當(dāng)年凈利潤的16倍。除此之外，招股書中還透露，其融資渠道較為單一，難以滿足該公司快速擴(kuò)張的需求。

上海微電子光刻機(jī)產(chǎn)品

核心產(chǎn)品僅一家客戶

雖然被譽(yù)為A股“光刻機(jī)第一股”，但華卓精科并不能直接生產(chǎn)光刻機(jī)整機(jī)，其主要產(chǎn)品為光刻機(jī)雙工件臺、超精密測控裝備及關(guān)鍵零部件等，而工件臺、投影物鏡和光源是光刻機(jī)的三大核心子系統(tǒng)，其中工件臺成本占到整個(gè)光刻機(jī)成本的10%-20%。

觀察者網(wǎng)梳理公開資料發(fā)現(xiàn)，在2000年之前，光刻設(shè)備只有一個(gè)工件臺，晶圓片的對準(zhǔn)與曝光流程都在上面完成。直到2001年，荷蘭ASML推出Twinscan雙工件臺系統(tǒng)，使光刻機(jī)能在一個(gè)工件臺進(jìn)行曝光晶圓片，同時(shí)在另外一個(gè)工作臺進(jìn)行預(yù)對準(zhǔn)工作，生產(chǎn)效率和精度得到大幅提升。

值得注意的是，雖然雙工件臺系統(tǒng)僅是增加一個(gè)工件臺，但技術(shù)難度卻不容小覷，對工件臺轉(zhuǎn)移速度和精度有非常高的要求。此前該產(chǎn)品技術(shù)被ASML一家壟斷，直到2016年才被清華大學(xué)攻克。

當(dāng)年4月28日，由清華大學(xué)機(jī)械工程系教授朱煜擔(dān)任負(fù)責(zé)人的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，歷經(jīng)5年時(shí)間研發(fā)的光刻機(jī)雙工件臺系統(tǒng)樣機(jī)，通過國家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”(下稱：02專項(xiàng))實(shí)施管理辦公室的項(xiàng)目驗(yàn)收。而朱煜本人正是華卓精科的實(shí)際控制人。

2018年5月，朱煜在接受華璋資本調(diào)研時(shí)表示，其生產(chǎn)的雙工件臺打破ASML在工件臺上的技術(shù)壟斷，是世界上第二家掌握雙工件臺核心技術(shù)的公司，而且在全球能單獨(dú)供應(yīng)工件臺的也只有華卓精科。

在招股書中，華卓精科透露，作為國內(nèi)首家可自主研發(fā)并實(shí)現(xiàn)商業(yè)化生產(chǎn)的光刻機(jī)雙工件臺供應(yīng)商，其為上海微電子提供光刻機(jī)雙工件臺，并長期保持良好的合作關(guān)系，共同進(jìn)行IC前道光刻機(jī)核心技術(shù)的研發(fā)和IC前道光刻機(jī)產(chǎn)品的生產(chǎn)，占據(jù)了中國商用光刻機(jī)雙工件臺的主要市場份額。

但是，上海微電子也是華卓精科光刻機(jī)雙工件臺產(chǎn)品的唯一客戶。

目前，世界上主要的光刻機(jī)生產(chǎn)商包括ASML、尼康、佳能等公司。

其中，尼康和佳能采用In House‖生產(chǎn)模式，即光刻機(jī)的主要子系統(tǒng)均由整機(jī)廠商研發(fā)和生產(chǎn);ASML早期采用Out House‖生產(chǎn)模式，僅負(fù)責(zé)整機(jī)的設(shè)計(jì)和子系統(tǒng)的需求定義，各個(gè)子系統(tǒng)均由第三方廠商進(jìn)行研發(fā)和生產(chǎn)。2010年后，隨著ASML逐步成為光刻機(jī)市場霸主，其開始自行設(shè)計(jì)工件臺。

并且，無論采取何種模式研發(fā)和生產(chǎn)工件臺，上述整機(jī)廠商使用的工件臺均不單獨(dú)對外銷售。因此，前述機(jī)構(gòu)在調(diào)研報(bào)告中也提到，華卓精科也是上海微電子唯一的光刻機(jī)工件臺供應(yīng)商。

尚未實(shí)現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)

華卓精科披露，目前其光刻機(jī)雙工件臺產(chǎn)品仍處于小批量定制生產(chǎn)階段，。

該公司針對國產(chǎn)高端IC前道光刻機(jī)的需求推出了DWS和DWSi兩種系列的雙工件臺，前者主要適用于干式步進(jìn)式掃描光刻機(jī)，可用于65nm及以上工藝節(jié)點(diǎn)，目前已向上海微電子完成交付;后者適用于浸沒式光刻機(jī)，可用45nm及以下工藝節(jié)點(diǎn)，目前仍處于研發(fā)階段。

談及光刻機(jī)工件臺的價(jià)格，朱煜曾透露，干式的雙工件臺約2000萬元，浸沒式的約6000萬元。

有業(yè)內(nèi)人士分析指出，華卓精科的雙工件臺技術(shù)雖然實(shí)現(xiàn)從0到1的突破，但是與國外還有一些差距，目前國際先進(jìn)水平的雙工件臺技術(shù)已運(yùn)用于7nm，甚至5nm光刻機(jī)的生產(chǎn)制造。

而華卓精科光刻機(jī)雙工件臺業(yè)務(wù)近年來波動(dòng)也較大。2017-2019年，該產(chǎn)品營收分別為1521萬元、795萬元和0萬元，占主營業(yè)務(wù)收入比重分別為28.12%、9.28%和0%。

該公司坦言，若其研發(fā)的光刻機(jī)雙工件臺因技術(shù)或客戶需求等原因?qū)е庐a(chǎn)業(yè)化不及預(yù)期，則可能對其未來該產(chǎn)品銷售收入分別為經(jīng)營業(yè)績造成不利影響。

除此之外，華卓精科還需要面對另一個(gè)不確定因素：其產(chǎn)品和重要客戶存在一定競爭。

招股書披露，其以光刻機(jī)雙工件臺的超精密測控技術(shù)為基礎(chǔ)，開發(fā)了晶圓級鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等整機(jī)產(chǎn)品。而其光刻機(jī)雙工件臺的唯一客戶上海微電子，也是后兩大產(chǎn)品的主要供應(yīng)商。